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日本thermocera高溫階段“基板加熱”1800℃
產品名稱: 日本thermocera高溫階段“基板加熱”1800℃
產品型號:
產品特點: 日本thermocera高溫階段“基板加熱"1800℃加熱,板上/下板,板旋轉,RF / DC板偏置可以根據(jù)設備配置自由定制,Depo-Up和Down,定制板支架,板旋轉/上/下/上/下,傾斜加熱和反向濺射等各種功能都包含在該單元中。各種加熱絲:NiCr,石墨,CCC,Inconel,鎢,鉬,SiC / PBN / PG涂層,鹵素燈和其他10種類型
日本thermocera高溫階段“基板加熱”1800℃ 的詳細介紹
日本thermocera高溫階段“基板加熱”1800℃

加熱,板上/下板,板旋轉,RF / DC板偏置
可以根據(jù)設備配置自由定制,Depo-Up和Down,定制板支架,板旋轉/上/下/上/下,傾斜加熱和反向濺射等各種功能都包含在該單元中。
各種加熱絲:NiCr,石墨,CCC,Inconel,鎢,鉬,SiC / PBN / PG涂層,鹵素燈和其他10種類型
總覽基板加熱階段需要加熱階段,例如垂直提升機構(基板支架和加熱頭中的一個或兩個),基板旋轉,RF / DC基板偏壓(反向飛濺RF / DC清潔)和加熱部分傾斜。它是具有多種功能的“多合一”組件。我們可以滿足對半導體制造設備和各種真空設備(氣相沉積設備,濺射,CVD設備)的所有要求。 | |
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| 2寸熱舞臺_800C
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| 應用/用例?半導體制造,薄膜的實驗設備,RF / DC反濺射,PECVD,RIE等 ?用熱臺(800℃說明書→修飾以醉高1600℃)更換現(xiàn)有設備的加熱機構 ?新工藝評價機器,樣機,等 | |
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| 加熱部位規(guī)格?NiCr加熱器 ?Inconel加熱器 ?鎢加熱器 ?鉬加熱器 ?鹵素燈加熱器 ?石墨加熱器 ?C / C復合加熱器 ?各種涂層加熱器(PG,PBN,SiC涂層,玻璃碳)
*工作溫度和數(shù)據(jù)均為“陶瓷頂”?請參閱“加熱器”。
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| 各部分名稱
熱舞臺結構
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日本thermocera高溫階段“基板加熱”1800℃